什么是超純水系統(tǒng)
水是一種極其強(qiáng)大的力量。我們看到它在陸地上開(kāi)辟出一條路,形成令人驚嘆的地理特征,如大峽谷。那么,水在您的系統(tǒng)中能做什么呢?超純水系統(tǒng)清潔水 – 保持無(wú)顆粒 – 因此可用于制造過(guò)程中的清潔和蝕刻,尤其是在半導(dǎo)體行業(yè)。
使用超純水的行業(yè)會(huì)消耗大量超純水。例如,要加工單個(gè)晶圓,需要超過(guò) 3,000L 的水。因此,了解超純水系統(tǒng)的工作原理、如何維護(hù)以及如何充分利用它以保持系統(tǒng)運(yùn)行并防止產(chǎn)量損失非常重要。
超純水系統(tǒng)可去除水中任何可能對(duì)用水對(duì)象造成傷害的污染物或污染物。例如,如果水被用來(lái)保持物體清潔和無(wú)污染,那么含有污染物的水就真的違背了目的。如果使用超純水來(lái)蝕刻半導(dǎo)體,那么即使水中存在非常小的顆粒也可能對(duì)精密的半導(dǎo)體造成損壞。
雖然我們通常不認(rèn)為水是臟的(畢竟我們用它來(lái)洗手),但超純水系統(tǒng)的工作是真正使水足夠干凈,不會(huì)在微環(huán)境中造成任何問(wèn)題。它通過(guò)化學(xué)反應(yīng)和物理元素(如過(guò)濾器)的復(fù)雜混合物,通過(guò) 3 個(gè)階段來(lái)實(shí)現(xiàn):預(yù)處理、初級(jí)和精制。
超純水系統(tǒng)分為三個(gè)階段:預(yù)處理、初級(jí)和精制。
在預(yù)處理階段,您可以獲得基本的純凈水。根據(jù)您的系統(tǒng),您可以使用兩通道反滲透、脫鹽和反滲透或高效反滲透 (HERO)。此外,還可以清除水中容易被過(guò)濾器捕獲的任何大碎屑。此階段還可能加入活性炭或亞硫酸氫鈉來(lái)對(duì)水進(jìn)行脫氯。
接下來(lái),水進(jìn)入初級(jí)處理階段。在此階段,水在紫外線(xiàn)下通過(guò),并進(jìn)行電去離子或混合床離子,以實(shí)現(xiàn)最大的脫鹽效果。要完成此步驟,您可以使用膜或真空脫氣去除溶解氧。
最后,也是最重要(但有時(shí)昂貴)的一步是創(chuàng)造超純水。在這個(gè)階段,紫外線(xiàn)和熱交換用于控制超純水供應(yīng)中的溫度。然后,使用不可再生離子交換與膜脫氣和超濾相結(jié)合,真正將水過(guò)濾到必要的顆粒水平。
經(jīng)過(guò)這三個(gè)階段后,超純水就可以在您的系統(tǒng)中使用了。
有許多行業(yè)使用超純水系統(tǒng)。最常見(jiàn)的一種是半導(dǎo)體行業(yè) – 使用超純水進(jìn)行清潔和蝕刻。在半導(dǎo)體行業(yè),國(guó)際半導(dǎo)體技術(shù)路線(xiàn)圖 (ITRS) 設(shè)定了清潔度的標(biāo)準(zhǔn)和未來(lái)目標(biāo)。
超純水也用于制藥行業(yè) - 產(chǎn)品完整性始終是最重要的考慮因素。制藥行業(yè)的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定,制藥用水中的溶解固體含量必須至少比標(biāo)準(zhǔn)飲用水中的溶解固體含量低 10,000 倍?;旧?,飲用水不夠干凈,無(wú)法用于這些系統(tǒng)。對(duì)于制藥,它必須是完全不含有機(jī)物質(zhì)和細(xì)菌的。
相同的標(biāo)準(zhǔn)品用于實(shí)驗(yàn)室中使用的超純水,用于處理組織樣品、流式細(xì)胞術(shù)和熱原敏感應(yīng)用。它還具有高電阻率,非常適合在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中使用。但是,任何使用超純水系統(tǒng)的人都需要知道,離開(kāi)系統(tǒng)的水已經(jīng)真正準(zhǔn)備好在所需的環(huán)境中使用。水污染物可能導(dǎo)致產(chǎn)量損失、危險(xiǎn)的污染和破壞。
您是否在超純水系統(tǒng)適合您的環(huán)境中工作?如果是,那么您還應(yīng)該投資購(gòu)買(mǎi)優(yōu)質(zhì)的液體粒子計(jì)數(shù)器。
液體粒子計(jì)數(shù)器將監(jiān)測(cè)您在設(shè)置中使用的超純水,以確保它真正達(dá)到您的需要,以保持您的超純水系統(tǒng)所達(dá)到的標(biāo)準(zhǔn)。
例如,Vertex 50 具有市場(chǎng)上較高的 50 納米靈敏度,可實(shí)現(xiàn)真正的 50 納米檢測(cè)。它還為低錯(cuò)誤計(jì)數(shù)率符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),同時(shí)具有創(chuàng)紀(jì)錄的經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的清理時(shí)間,因此您可以在顆粒事故發(fā)生后快速恢復(fù)工作。這種粒子計(jì)數(shù)器的靈敏度使其成為半導(dǎo)體等受到高度監(jiān)管的行業(yè)的理想選擇,在這些行業(yè)中,即使是最小的顆粒也會(huì)造成損害。
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